集成波导芯片自动耦合测试系统

一、简介/ INTRODUCTION 集成波导芯片耦合系统以电动耦合台耦合测试系统软件为控制核心，可控制多轴控制器驱动电动轴进行运动，从而进行光纤、透镜光纤、阵列光纤等不同物料与集成波导芯片的耦合对准、耦合完...

一、简介/ INTRODUCTION

集成波导芯片耦合系统以电动耦合台耦合测试系统软件为控制核心，可控制多轴控制器驱动电动轴进行运动，从而进行光纤、透镜光纤、阵列光纤等不同物料与集成波导芯片的耦合对准、耦合完成后的点胶与UV固化，不同的耦合场景由软件控制多轴控制器驱动电动轴进行特定的找光运动。

二、产品特点/FEATURES

1）系统包含双边电动六轴调整架，支持单边、双边耦合；

2）结构设计模块化，更换夹具则可实现光纤、透镜光纤、阵列光纤等不同物料与集成波导芯片进行耦合；

3）软件可实现自动耦合对准、自动点胶、自动固化等功能，还可根据客户需求拓展芯片测试以及图像识别等功能；

4）软件支持二次开发，可进行耦合流程编辑，支持客户自定义工艺动作，设备的灵活性高、适用性广。

三、应用范围/APPLICATION

可适用器件：AWG、PLC Splitter、MUX、DMUX、VOA、ICR等平面波导类产品的耦合测试。

四、技术规格/SPECIFICATION

五、性能指标/ PERFORMANCE INDEX

项目	说明
电动直线轴	X轴：行程50mm，分辨率50nm，重复定位精度±0.5μm Y轴：行程30mm，分辨率50nm，重复定位精度±0.5μm Z轴：行程20mm，分辨率50nm，重复定位精度±0.2μm
电动弧度轴	θX轴：行程±8°，分辨率0.003°，重复定位精度±0.005° θY轴：行程±8°，分辨率0.0032°，重复定位精度±0.003° θZ轴：行程±8°，分辨率0.0032°，重复定位精度±0.003°
芯片台电动直线轴	行程150mm，重复定位精度±0.5μm
视觉机构	双视觉，1600W彩色CCD，镜头光学放大倍数0.58X～7.5X，识别最小间距≤0.5um
外围设备	自动点胶固化模组、多轴控制器、主机、功率计、光源等
耦合软件	自动耦合测试软件，耦合流程可编辑，支持二次开发