一、设备特点
1）空间光器件封装系统包含双边手动六轴调整架结构，支持同向、相向光路耦合；
2）空间光器件封装系统可实现蝶形器件和COC上电；
3）结构设计模块化，更换夹具则可实现蝶形器件、COC、波导器件、准直器、圆形透镜、方形透镜等不同场景的耦合。
二、产品性能指标
| 序号 | 项目 | 说明 |
| 1 | 高精度手动耦合台 | X轴：行程粗调：6.5mm；微调：0.3mm，分辨率粗调：10μm；微调：0.5μm Y轴：行程粗调：6.5mm；微调：0.3mm，分辨率粗调：10μm；微调：0.5μm Z轴：行程粗调：6.5mm；微调：0.3mm，分辨率粗调：10μm；微调：0.5μm θX轴：行程±2.5°，0.008°/刻度 θY轴：行程±2.5°，0.008°/刻度 θZ轴：行程±4°，0.009°/刻度 |
| 2 | 载物台 | 手动X轴（平动）：行程13mm，调节精度10μm 手动Y轴（平动）：行程13mm，调节精度10μm 手动θZ轴（水平转动）：行程360°，精度0.02° |
| 3 | 视觉模组 | 包含俯视、后视及斜视显微镜，微调架行程 前后40mm，左右20mm，上下60mm；镜头光学放大倍数：0.7-4.5倍，含大行程位移导轨 |
| 4 | 三轴探针台 | X/Y/Z三轴手动可调，用于安装直流探针 |
| 5 | 其他 | 夹具、温控系统、显示器、功率计、恒流源等 |
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