一、简介/ INTRODUCTION
双透镜自动耦合封装设备是一款通用性的硅光耦合平台,主要用于实现LD、透镜(包括单透镜、双透镜)、光纤、波导芯片之间的耦合封装,可兼容多种耦合场景,同时可以通过配置不同的外围设备,兼容点胶、金锡焊、玻璃焊料、激光焊等多种封装场景。本设备整体采用模块化设计,夹具采用快拆结构,可以通过更换夹具实现各种类型的耦合封装,扩展性强、灵活性高。
二、产品特色/Product feature
1)双边电动六轴+辅助电动五轴结构,支持多种耦合封装场景;
2)直线电机模组,带光栅尺自反馈,耦合效率高、稳定性好;
3)具有图像识别和定位功能,自动上下料;
4)软件可实现自动耦合对准、自动点胶、自动固化等功能,支持光功率和电流反馈,可拓展支持光斑反馈、偏振反馈;
5)软件支持二次开发,可进行耦合流程编辑,支持客户自定义工艺动作,设备的灵活性高、适用性广。
三、技术规格/SPECIFICATION
参数 | 指标 |
设备尺寸 | 1500(L)*1200mm(W)*2100mm(H) |
系统供电 | AC220V/50Hz |
功率采集范围 | -70~10dBm |
滑台最小精度 | 20nm |
耦合重复性 | <0.2dB |
机器效率 | <60s |
四、性能指标/ PERFORMANCE INDEX
项目 | 说明 |
透镜电动直线轴 | X轴:行程210mm,分辨率20nm,重复定位精度±0.1μm Y轴:行程160mm,分辨率20nm,重复定位精度±0.1μm Z轴:行程80mm,分辨率20nm,重复定位精度±0.15μm |
准直器电动直线轴 | X轴:行程50mm,分辨率50nm,重复定位精度±0.5μm Y轴:行程30mm,分辨率50nm,重复定位精度±0.5μm Z轴:行程20mm,分辨率50nm,重复定位精度±0.2μm |
电动旋转轴 | 行程:±8°,重复定位精度:±0.003° |
视觉机构 | 三视觉,1600W彩色CCD,镜头光学放大倍数0.58X~7.5X,识别最小间距≤0.5um |
光学平台 | 1200mm(L)*800mm(W)*800mm(H) |
外围设备 | 自动点胶固化模组、工控机、多轴运动控制器、功率计、TEC温控器、电源等 |
耦合软件 | 自动耦合测试软件,耦合流程可编辑,支持二次开发 |