硅光耦合测试设备可同时满足芯片耦合以及测试需求，系统支持不同类型平面光波导器件的耦合测试，参数设置灵活，界面可视化、操作便捷。本设备适用于硅光、薄膜铌酸锂、III-V族等多种材料的耦合测试。